2023年7月22日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）作为首批25家科创板上市企业之一，成功在上海证券交易所科创板挂牌交易，开启了中国半导体设备企业登陆资本市场的新篇章。中微公司深耕半导体加工设备领域，其核心产品等离子体刻蚀设备和MOCVD（金属有机化学气相沉积）设备广泛应用于集成电路和LED芯片制造，打破了国外长期垄断。
随着业务快速发展，中微公司持续扩大产能布局。中微公司在南昌高新区建设的MOCVD高端装备制造基地正式投产。该基地将专注于生产用于LED和功率器件制造的高端MOCVD设备，并计划进一步扩展到更多半导体加工设备领域。南昌高新区作为江西省电子信息产业的核心区，已形成LED和半导体产业的集聚效应，中微公司的落户将进一步增强区域产业链的协同能力。
MOCVD设备是LED芯片制造的关键设备，对亮度和效率起到决定性作用。中微公司自主研发的MOCVD设备已在国内市场占据领先地位，并逐步走向海外。南昌基地的投产将有力支撑中国LED产业和第三代半导体产业的自主可控发展。这也标志着中微公司在半导体加工设备领域迈出了产能优化和区域布局的重要一步。
除MOCVD外，中微公司的刻蚀设备已在国内外一流集成电路生产线上实现量产应用，覆盖5纳米及更先进工艺。公司表示，未来将继续加大研发投入，同时借助科创板资本平台，推动高端装备国产化进程，并深化在南昌等地的产业合作，助力中国半导体产业整体竞争力的提升。
